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          高純氣體管路設計“七要點”

          更新時間:2024-02-21  |  點擊率:87

          高純氣體管路設計“七要點"

          1、氣體特性

          了解氣體特性,規劃獨立的供應區域。一般根據氣體特性分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區。將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻和泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體于毒性/腐蝕性氣體放置同一區域。

          2、輸送距離

          管路設計需要考慮輸送至用氣點的距離,距離越長,成本越高,風險越高。

          通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4"~3/8"。

          3、設備分布情況

          根據用氣設備的分布情況嗎,高純氣體的管網大小長短應適宜,不宜過大或過長;宜采用不封閉的環形管路,在末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間"引起高純氣體的污染。

          4、減少管路“死區"

          管路中不應設有盲管,減少不流動氣體的“死區",在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除,以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區"形成而滯留污染物,降低氣體純度。

          5、輸送系統“分等級"

          對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。

          6、采樣儀器及“采樣口"

          為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。

          7、確保氣體純度

          在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。


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